1、精度和長期穩(wěn)定性
濕度傳感器的精度應(yīng)到達(dá)±2%~±5%RH，達(dá)不到這個程度很難作為計量用具運用，濕度傳感器要到達(dá)±2%~±3%RH的精度是比擬艱難的，通常產(chǎn)品材料中給出的特性是在常溫（20℃正負(fù)10℃）和干凈的氣體中丈量的。在實踐運用，塵土、油污及有害氣體的影響，運用時間一長，會產(chǎn)生老化，精度降落，濕度傳感器的精度程度要分離其長期穩(wěn)定性去判別，普通說來，長期穩(wěn)定性和運用壽命是影響濕度傳感器質(zhì)量的*問題，年漂移量控制在1%RH程度的產(chǎn)品很少，普通都在±2%左右。
2、濕度傳感器的溫度系數(shù)
濕敏元件除對環(huán)境濕度敏感外，對溫度亦敏感，其溫度系數(shù)普通在0.2~0.8%RH/℃范圍內(nèi)，而且有的濕敏元件在不同的相對濕度下，其溫度系數(shù)又有差異。溫漂非線性，這需求在電路上加溫度補償式。采用單片機軟件補償，或無溫度補償?shù)臐穸葌鞲衅魇潜２涣巳珳胤秶木鹊?，濕度傳感器溫漂曲線的線性化直接影響到補償?shù)男Ч?，非線性的溫漂常常補償不出較好的效果，只要采用硬件溫度跟隨性補償才會取得真實的補償效果。濕度傳感器工作的溫度范圍也是重要參數(shù)。多數(shù)濕敏元件難在40℃以上正常工作。
3、羅卓尼克溫濕度傳感器的供電
金屬氧化物陶瓷，高分子聚合物和氯化鋰等濕敏資料施加直流電壓時，會招致性能變化，以至失效，所以這類濕度傳感器不能用直流電壓或有直流成份的交流電壓。需是交流電供電。
4、互換性
目前，濕度傳感器普遍存在著互換性差的現(xiàn)象，同一型號的傳感器不能互換，嚴(yán)重影響了運用效果，給維修、調(diào)試增加了艱難，有些廠家在這方面作出了種種努力，（但互換性仍很差）獲得了較好效果。
5、維薩拉溫濕度校正
校正濕度要比校正溫度艱難得多。溫度標(biāo)定常常用一根規(guī)范溫度計作規(guī)范，而濕度的標(biāo)定規(guī)范較難完成，干濕球溫度計和一些常見的指針式濕度計是不能用來作標(biāo)定的，精度無法保，因其請求環(huán)境條件嚴(yán)厲，普通狀況，（在濕度環(huán)境條件下）在缺乏完善的檢定設(shè)備時，通常用簡單的飽和鹽溶液檢定法，并丈量其溫度。
